The Nanofab - 纳米尺度结构生长系统

  • 从小尺寸的样品到200mm的晶片都可以处理
  • 可以进行等离子体增强化学气相沉积(PECVD)薄膜生长
  • 合成化合物半导体纳米线用的金属有机(MOCVD)前驱物输送系统
  • 有序阵列生长及薄膜应力控制
  • 出色的温度均匀性、扩展性、灵活控制
  • 可以在高气压、高流速体系进行工艺处理
  • 可选的液态源输送系统
  • 真空进样使样品准备及工艺处理操可以独立操作

相关工艺技术

设备支持

灵活的服务协议

灵活的服务协议

定制服务合同:选择适合您的选项。

工艺培训

工艺培训

将在我们的专门培训基地教授工艺培训课程

系统用户维护培训

系统用户维护培训

设计用于提高系统维护技术,确保您有效地使用您的牛津仪器系统。